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氣體質(zhì)量流量控制器的校準(zhǔn)方式

更新時間:2025-02-24點(diǎn)擊次數(shù):293
  氣體質(zhì)量流量控制器的校準(zhǔn)方式涉及多個方面和步驟,需要嚴(yán)格按照操作規(guī)程進(jìn)行,以確保校準(zhǔn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。以下是對氣體質(zhì)量流量控制器校準(zhǔn)方式的詳細(xì)描述:
  一、校準(zhǔn)前準(zhǔn)備
  1. 環(huán)境條件:確保校準(zhǔn)環(huán)境穩(wěn)定,溫度控制在(20±5)℃,濕度在45%RH~75%RH范圍內(nèi),且無大氣壓力突變、振動干擾及磁場干擾。
  2. 設(shè)備檢查:確認(rèn)氣體質(zhì)量流量控制器及其配套設(shè)備(如肥皂膜流量計、U型管壓力計、秒表、數(shù)字萬用表、氣瓶等)完好無損,量程和精度符合要求,并清潔管道以確保密封性。
  3. 設(shè)備連接:正確連接氣瓶、被檢控制器、肥皂膜流量計和U型管壓力計,確保各連接部位無漏氣現(xiàn)象。
  二、校準(zhǔn)步驟
  1. 外觀與初步檢查:檢查控制器外觀是否損壞,按鍵是否正常,顯示屏是否清晰。打開電源,預(yù)熱15分鐘以上,觀察顯示流量值是否為零,不為零則進(jìn)行清零操作。
  2. 管道連接與檢漏:根據(jù)被檢控制器流量范圍選擇量程合適的標(biāo)準(zhǔn)流量計,連接好氣路,確保接口處密封無泄漏。對于高壓氣體,應(yīng)增加氣密性檢驗(yàn)步驟。
  3. 示值誤差校準(zhǔn):通過調(diào)節(jié)閥或流量計設(shè)置多個不同的流量點(diǎn)(如滿量程的0%、25%、50%、75%、100%),記錄標(biāo)準(zhǔn)流量計和被檢流量計的讀數(shù),計算示值誤差。重復(fù)測量多次,取平均值以提高準(zhǔn)確性。
  4. 響應(yīng)時間校準(zhǔn):設(shè)定一個流量階躍變化(如從0%到50%或從50%到100%),同時啟動秒表,記錄被檢控制器響應(yīng)達(dá)到穩(wěn)定所需時間。響應(yīng)時間應(yīng)滿足技術(shù)規(guī)格書要求,否則需調(diào)整內(nèi)部參數(shù)或更換部件。
  5. 重復(fù)性校準(zhǔn):選擇2-3個不同流量點(diǎn)進(jìn)行重復(fù)性測試,每個流量點(diǎn)重復(fù)測量多次(如6次),記錄讀數(shù)并計算重復(fù)性誤差。確保重復(fù)性滿足要求,以證明控制器的一致性和可靠性。
  6. 控制性能校準(zhǔn):如果具備外部控制功能,還需進(jìn)行控制性能校準(zhǔn)。通過外部模擬信號或通信接口發(fā)送控制命令,觀察被檢控制器執(zhí)行動作的準(zhǔn)確性和及時性。
  三、校準(zhǔn)記錄與結(jié)果處理
  1. 數(shù)據(jù)記錄:詳細(xì)記錄校準(zhǔn)過程中的各項數(shù)據(jù),包括流量設(shè)定值、標(biāo)準(zhǔn)流量計讀數(shù)、被檢流量計讀數(shù)、時間、溫度等環(huán)境條件。
  2. 結(jié)果判斷:根據(jù)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)判斷被檢控制器的示值誤差、重復(fù)性和響應(yīng)時間等指標(biāo)是否符合技術(shù)規(guī)格書要求。對于不合格項,需進(jìn)行調(diào)整或維修后重新校準(zhǔn)。
  3. 報告編制:整理校準(zhǔn)數(shù)據(jù),編制校準(zhǔn)報告。報告應(yīng)包含被校儀器信息、校準(zhǔn)依據(jù)、校準(zhǔn)項目、校準(zhǔn)數(shù)據(jù)、不確定度/準(zhǔn)確度等級、校準(zhǔn)結(jié)論等內(nèi)容。
  4. 歸檔保存:將校準(zhǔn)報告存檔備查,以便后續(xù)追溯和質(zhì)量控制。
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